低温输运系统 (1.5 K - 300 K, 9 T)
液氮输运系统 (70 K - 500 K, 0.6 T, 360o旋转电磁铁)
磁控溅射-离子源刻蚀-手套箱互联系统
光学显微镜和二维材料转移堆垛系统
通风橱
管式炉
中科大微纳研究与制造中心以及理化科学实验中心